Kiniërún asiwaju? Nitorina kini awọn abuda rẹ? Ṣiṣẹda chirún LED jẹ nipataki lati ṣe iṣelọpọ ti o munadoko ati igbẹkẹle kekere awọn amọna olubasọrọ ohmic, pade idinku kekere foliteji laarin awọn ohun elo ti o le kan si, pese awọn paadi titẹ fun awọn onirin alurinmorin, ati ina ina bi o ti ṣee ṣe. Ilana iyipada fiimu ni gbogbogbo nlo ọna evaporation igbale. Labẹ igbale giga 4pa, ohun elo naa yo nipasẹ alapapo resistance tabi ọna alapapo elekitironi tan ina bombardment, ati bZX79C18 di oru irin ati ti a gbe sori ilẹ ti ohun elo semikondokito labẹ titẹ kekere.

Ni gbogbogbo, irin olubasọrọ p-type ti a lo pẹlu Aube, auzn ati awọn alloys miiran, ati irin olubasọrọ n-ẹgbẹ nigbagbogbo n gba alloy AuGeNi. Awọn olubasọrọ Layer ti elekiturodu ati awọn fara alloy Layer le fe ni pade awọn ibeere ti lithography ilana. Lẹhin ilana fọtolithography, o tun jẹ nipasẹ ilana alloying, eyiti a maa n ṣe labẹ aabo ti H2 tabi N2. Akoko alloying ati iwọn otutu ni a maa n pinnu ni ibamu si awọn abuda ti awọn ohun elo semikondokito ati irisi ileru alloy. Nitoribẹẹ, ti ilana elekiturodu chirún bii buluu ati alawọ ewe jẹ eka sii, idagbasoke fiimu palolo ati ilana etching pilasima nilo lati ṣafikun.

Ninu ilana iṣelọpọ ti chirún LED, ilana wo ni o ni ipa pataki lori iṣẹ ṣiṣe fọtoelectric rẹ?

Gbogbo soro, lẹhin ti awọn Ipari tiLED epitaxial gbóògì, Awọn ohun-ini itanna akọkọ rẹ ti pari, ati iṣelọpọ chirún kii yoo yi iseda iparun rẹ pada, ṣugbọn awọn ipo aibojumu ninu ilana ti a bo ati alloying yoo fa diẹ ninu awọn aye itanna ikolu. Fun apẹẹrẹ, iwọn otutu alloying kekere tabi giga yoo fa olubasọrọ ohmic ti ko dara, eyiti o jẹ idi akọkọ fun idinku foliteji siwaju siwaju VF ni iṣelọpọ ërún. Lẹhin gige, ti diẹ ninu awọn ilana ipata ba ṣe ni eti ti ërún, yoo jẹ iranlọwọ lati mu ilọsiwaju jijo yipo ti ërún naa. Eyi jẹ nitori lẹhin gige pẹlu abẹfẹlẹ kẹkẹ lilọ diamond, diẹ idoti ati lulú yoo wa ni eti ti ërún. Ti iwọnyi ba di si ipade PN ti chirún LED, wọn yoo fa jijo ina ati paapaa didenukole. Ni afikun, ti o ba ti photoresist lori ërún dada ti a ko ti bọ mọ, o yoo fa isoro ni iwaju alurinmorin ati eke alurinmorin. Ti o ba wa ni ẹhin, yoo tun fa idinku titẹ giga. Ninu ilana ti iṣelọpọ ërún, kikankikan ina le ni ilọsiwaju nipasẹ sisọ dada ati pinpin si ọna inverted trapezoidal.

Kini idi ti o yẹ ki awọn eerun LED pin si awọn titobi oriṣiriṣi? Kini awọn ipa ti iwọn lori iṣẹ fọtoelectric ti LED?

Iwọn chirún LED le pin si chirún agbara kekere, chirún agbara alabọde ati chirún agbara-giga ni ibamu si agbara. Gẹgẹbi awọn ibeere alabara, o le pin si ipele tube ẹyọkan, ipele oni-nọmba, ipele matrix aami ati ina ohun ọṣọ. Bi fun iwọn pato ti ërún, o ti pinnu ni ibamu si ipele iṣelọpọ gangan ti awọn aṣelọpọ chirún oriṣiriṣi, ati pe ko si ibeere kan pato. Niwọn igba ti ilana naa ba kọja, ërún le mu ilọsiwaju ẹyọkan dara si ati dinku idiyele, ati iṣẹ ṣiṣe fọtoelectric kii yoo yipada ni ipilẹ. Awọn lilo ti isiyi ti ërún ti wa ni kosi jẹmọ si awọn ti isiyi iwuwo ti nṣàn nipasẹ awọn ërún. Nigbati awọn ërún ni kekere, awọn lilo ti isiyi jẹ kekere, ati nigbati awọn ërún ni o tobi, awọn lilo ti isiyi jẹ tobi. Iwọn iwuwo lọwọlọwọ wọn jẹ ipilẹ kanna. Ṣiyesi pe ifasilẹ ooru jẹ iṣoro akọkọ labẹ lọwọlọwọ giga, ṣiṣe itanna rẹ kere ju ti lọwọlọwọ lọ. Ni apa keji, bi agbegbe ti n pọ si, resistance ara ti ërún yoo dinku, nitorinaa siwaju lori foliteji yoo dinku.

Kini agbegbe ti chirún agbara giga LED? Kí nìdí?

Led ga-agbara awọn eerunfun ina funfun ni gbogbo nipa 40mil ni oja. Ohun ti a pe ni agbara lilo ti awọn eerun agbara-giga ni gbogbogbo tọka si agbara ina ti diẹ sii ju 1W. Niwọn igba ti iṣiṣẹ kuatomu jẹ gbogbogbo kere ju 20%, pupọ julọ agbara ina yoo yipada si agbara ooru, nitorinaa itu ooru ti chirún agbara-giga jẹ pataki pupọ, ati pe a nilo chirún lati ni agbegbe nla.

Kini awọn ibeere oriṣiriṣi ti imọ-ẹrọ chirún ati ohun elo iṣelọpọ fun iṣelọpọ awọn ohun elo epitaxial GaN ni akawe pẹlu aafo, GaAs ati InGaAlP? Kí nìdí?

Awọn sobusitireti ti pupa LED pupa ati awọn eerun ofeefee ati pupa Quad didan ati awọn eerun ofeefee jẹ ti awọn ohun elo semikondokito bii aafo ati GaA, eyiti o le ṣe ni gbogbogbo sinu awọn sobusitireti iru n. Awọn tutu ilana ti lo fun lithography, ati ki o si awọn Diamond lilọ kẹkẹ abẹfẹlẹ ti lo lati ge awọn ërún. Chirún alawọ buluu ti ohun elo GaN jẹ sobusitireti oniyebiye. Nitori awọn oniyebiye sobusitireti ti wa ni idabobo, o ko le ṣee lo bi ọkan polu ti LED. O jẹ pataki lati ṣe p / N amọna lori awọn epitaxial dada ni akoko kanna nipasẹ gbẹ etching ilana, ati diẹ ninu awọn passivation ilana. Nitori oniyebiye jẹ gidigidi lile, o jẹ soro lati fa awọn eerun pẹlu diamond lilọ kẹkẹ abẹfẹlẹ. Ilana imọ-ẹrọ rẹ jẹ diẹ sii ati eka ju ti LED ti aafo ati awọn ohun elo GaAs ṣe.

Ohun ti o jẹ awọn be ati awọn abuda kan ti "sihin elekiturodu" ërún?

Awọn ohun ti a npe ni sihin elekiturodu yẹ ki o wa conductive ati ki o sihin. Ohun elo yii ti wa ni lilo pupọ ni ilana iṣelọpọ gara gara. Orukọ rẹ ni indium tin oxide, eyiti a pe ni ITO, ṣugbọn a ko le lo bi paadi ti o ta. Lakoko iṣelọpọ, elekiturodu ohmic yoo ṣee ṣe lori oke ti chirún, lẹhinna Layer ITO yoo wa ni bo lori ilẹ, lẹhinna Layer ti paadi alurinmorin yoo wa ni fifẹ lori oju ITO. Ni ọna yi, awọn ti isiyi lati asiwaju ti wa ni boṣeyẹ pin si kọọkan ohmic olubasọrọ elekiturodu nipasẹ awọn ITO Layer. Ni akoko kanna, nitori itọka ifasilẹ ti ITO wa laarin itọka ifasilẹ ti afẹfẹ ati ohun elo epitaxial, igun ina le ni ilọsiwaju ati ṣiṣan itanna le pọ si.

Kini ojulowo ti imọ-ẹrọ chirún fun ina semikondokito?

Pẹlu idagbasoke ti imọ-ẹrọ LED semikondokito, ohun elo rẹ ni aaye ina jẹ diẹ sii ati siwaju sii, paapaa ifarahan ti LED funfun ti di aaye gbigbona ti ina semikondokito. Sibẹsibẹ, chirún bọtini ati imọ-ẹrọ iṣakojọpọ nilo lati ni ilọsiwaju. Ni awọn ofin ti ërún, a yẹ ki o dagbasoke si agbara giga, ṣiṣe itanna giga ati idinku resistance igbona. Alekun agbara tumọ si pe lilo lọwọlọwọ ti ërún ti pọ si. Awọn diẹ taara ona ni lati mu awọn ërún iwọn. Bayi awọn eerun giga-giga ti o wọpọ jẹ 1mm × 1mm tabi bẹ, ati lọwọlọwọ ṣiṣiṣẹ jẹ 350mA Nitori ilosoke ti lọwọlọwọ lilo, iṣoro itusilẹ ooru ti di iṣoro olokiki. Bayi isoro yi ti wa ni besikale re nipa awọn ọna ti ërún isipade. Pẹlu idagbasoke ti imọ-ẹrọ LED, ohun elo rẹ ni aaye ti ina yoo dojuko aye ti a ko ri tẹlẹ ati ipenija.

Ohun ti o jẹ isipade ërún? Kini iṣeto rẹ? Kini awọn anfani rẹ?

Blue LED maa gba Al2O3 sobusitireti. Sobusitireti Al2O3 ni líle giga ati iba ina gbigbona kekere. Ti o ba gba ilana ilana, ni apa kan, yoo mu awọn iṣoro anti-aimi wa; ni apa keji, sisọ ooru yoo tun di iṣoro pataki labẹ lọwọlọwọ giga. Ni akoko kanna, nitori elekiturodu iwaju ti wa ni oke, diẹ ninu ina yoo dina, ati ṣiṣe itanna yoo dinku. LED buluu ti o ga julọ le gba iṣelọpọ ina ti o munadoko diẹ sii nipasẹ imọ-ẹrọ isipade chirún ju imọ-ẹrọ iṣakojọpọ ibile.

Ni lọwọlọwọ, ọna eto isipade isipade akọkọ jẹ: akọkọ, mura chirún LED buluu buluu nla kan pẹlu elekiturodu alurinmorin eutectic, mura sobusitireti ohun alumọni diẹ ti o tobi ju chirún LED buluu, ki o ṣe Layer conductive goolu ati yorisi Layer waya jade ( ultrasonic goolu waya rogodo solder isẹpo) fun eutectic alurinmorin lori o. Lẹhinna, chirún LED buluu buluu ti o ni agbara giga ati sobusitireti ohun alumọni jẹ welded papọ nipasẹ ohun elo alurinmorin eutectic.

Iwa ti eto yii ni pe Layer epitaxial wa ni olubasọrọ taara pẹlu sobusitireti ohun alumọni, ati pe atako igbona ti sobusitireti ohun alumọni kere pupọ ju ti sobusitireti sapphire, nitorinaa iṣoro ti itujade ooru ti yanju daradara. Nitoripe sobusitireti sapphire dojukọ si oke lẹhin gbigbe isipade, o di oju ina ti njade, ati sapphire jẹ sihin, nitorinaa iṣoro didan ina naa tun yanju. Awọn loke ni awọn ti o yẹ imo ti LED ọna ẹrọ. Mo gbagbọ pe pẹlu idagbasoke ti imọ-jinlẹ ati imọ-ẹrọ, awọn atupa LED iwaju yoo jẹ diẹ sii ati siwaju sii daradara, ati pe igbesi aye iṣẹ yoo ni ilọsiwaju pupọ, eyiti yoo mu irọrun wa lọpọlọpọ.