Kini ohunLED ërún? Nitorina kini awọn abuda rẹ?LED ërún ẹrọjẹ akọkọ lati ṣe iṣelọpọ ti o munadoko ati igbẹkẹle kekere ohm elekiturodu, pade idinku kekere foliteji laarin awọn ohun elo olubasọrọ, pese paadi titẹ fun okun waya alurinmorin, ati ni akoko kanna, ina bi o ti ṣee. Ilana fiimu iyipada ni gbogbogbo nlo ọna imukuro igbale. Labẹ igbale giga 4Pa, awọn ohun elo naa yo nipasẹ alapapo resistance tabi igbona itanna tan ina bombardment, ati BZX79C18 ti wa ni tan-sinu irin oru lati beebe lori dada ti semikondokito ohun elo labẹ kekere titẹ.

Awọn irin olubasọrọ iru P ti o wọpọ pẹlu AuBe, AuZn ati awọn alloy miiran, ati awọn irin olubasọrọ ti o wa ni ẹgbẹ N jẹ igbagbogbo AuGeNi alloys. Layer alloy ti a ṣẹda lẹhin ti a bo tun nilo lati ṣafihan agbegbe itanna bi o ti ṣee ṣe nipasẹ fọtolithography, ki Layer alloy ti o ku le pade awọn ibeere ti o munadoko ati igbẹkẹle kekere ohm olubasọrọ elekiturodu ati paadi laini alurinmorin. Lẹhin ti ilana fọtolithography ti pari, ilana alloying yoo ṣee ṣe labẹ aabo ti H2 tabi N2. Akoko ati iwọn otutu ti alloying ni a maa n pinnu ni ibamu si awọn abuda ti awọn ohun elo semikondokito ati irisi ileru alloy. Nitoribẹẹ, ti ilana elekiturodu chirún bii alawọ-alawọ ewe jẹ eka sii, idagbasoke fiimu palolo ati ilana etching pilasima nilo lati ṣafikun.

Ninu ilana iṣelọpọ chirún LED, awọn ilana wo ni o ni ipa pataki lori iṣẹ ṣiṣe fọtoelectric rẹ?

Ni gbogbogbo, lẹhin ipari ti iṣelọpọ epitaxial LED, iṣẹ itanna akọkọ rẹ ti pari. Ṣiṣejade chirún kii yoo yi iseda iṣelọpọ mojuto rẹ pada, ṣugbọn awọn ipo aibojumu ninu ibora ati ilana alloying yoo fa diẹ ninu awọn aye itanna jẹ talaka. Fun apẹẹrẹ, iwọn otutu alloying kekere tabi giga yoo fa olubasọrọ ohmic ti ko dara, eyiti o jẹ idi akọkọ fun idinku foliteji siwaju siwaju VF ni iṣelọpọ ërún. Lẹhin gige, ti diẹ ninu awọn ilana etching ti wa ni ti gbe jade lori awọn ërún eti, o yoo jẹ iranlọwọ lati mu awọn yiyo yi pada ti awọn ërún. Eyi jẹ nitori lẹhin gige pẹlu abẹfẹlẹ kẹkẹ lilọ diamond, ọpọlọpọ erupẹ idoti yoo wa lori eti ërún. Ti awọn patikulu wọnyi ba duro si ipade PN ti ërún LED, wọn yoo fa jijo ina, tabi paapaa didenukole. Ni afikun, ti o ba ti photoresist lori ërún dada ti ko ba bó pa mọ, o yoo fa isoro ni iwaju waya imora ati eke soldering. Ti o ba jẹ ẹhin, yoo tun fa idinku titẹ giga. Ninu ilana ti iṣelọpọ ërún, kikankikan ina le ni ilọsiwaju nipasẹ ọna roughening dada ati gige sinu eto trapezoid inverted.

Kini idi ti awọn eerun LED pin si awọn titobi oriṣiriṣi? Kini awọn ipa ti iwọn loriLED photoelectricišẹ?

Iwọn chirún LED le pin si chirún agbara kekere, chirún agbara alabọde ati ërún agbara giga ni ibamu si agbara. Gẹgẹbi awọn ibeere alabara, o le pin si ipele tube ẹyọkan, ipele oni-nọmba, ipele lattice ati ina ohun ọṣọ ati awọn ẹka miiran. Awọn kan pato iwọn ti awọn ërún da lori awọn gangan gbóògì ipele ti o yatọ si ërún tita, ati nibẹ ni ko si kan pato ibeere. Niwọn igba ti ilana naa ba jẹ oṣiṣẹ, chirún le ṣe ilọsiwaju iṣelọpọ ẹyọkan ati dinku idiyele, ati iṣẹ ṣiṣe fọtoelectric kii yoo yipada ni ipilẹ. Awọn ti isiyi lo nipa awọn ërún ti wa ni kosi jẹmọ si awọn ti isiyi iwuwo ti nṣàn nipasẹ awọn ërún. Awọn ti isiyi lo nipa awọn ërún ni kekere ati awọn ti isiyi lo nipa ërún ni o tobi. Iwọn iwuwo lọwọlọwọ wọn jẹ ipilẹ kanna. Ṣiyesi pe ifasilẹ ooru jẹ iṣoro akọkọ labẹ lọwọlọwọ giga, ṣiṣe itanna rẹ jẹ kekere ju ti labẹ lọwọlọwọ kekere. Ni apa keji, bi agbegbe naa ti n pọ si, resistance iwọn didun ti chirún yoo dinku, nitorinaa foliteji idari iwaju yoo dinku.

Kini ërún iwọn wo ni chirún agbara giga LED ni gbogbogbo tọka si? Kí nìdí?

Awọn eerun agbara giga LED ti a lo fun ina funfun ni gbogbogbo ni a le rii ni ọja ni bii 40 mils, ati pe ohun ti a pe ni awọn eerun agbara giga ni gbogbogbo tumọ si pe agbara itanna jẹ diẹ sii ju 1W. Niwọn igba ti iṣiṣẹ kuatomu jẹ gbogbo kere ju 20%, pupọ julọ agbara ina yoo yipada si agbara ooru, nitorinaa itu ooru ti awọn eerun agbara giga jẹ pataki pupọ, to nilo agbegbe ërún nla.

Kini awọn ibeere oriṣiriṣi ti ilana chirún ati ohun elo iṣelọpọ fun iṣelọpọ awọn ohun elo epitaxial GaN ni akawe pẹlu GaP, GaAs ati InGaAlP? Kí nìdí?

Awọn sobusitireti ti pupa LED pupa ati awọn eerun ofeefee ati pupa quaternary didan ati awọn eerun ofeefee jẹ ti GaP, GaAs ati awọn ohun elo semikondokito miiran, eyiti o le ṣe ni gbogbogbo sinu awọn sobusitireti iru N. Ilana ti o tutu ni a lo fun fọtolithography, ati lẹhinna a lo abẹfẹlẹ kẹkẹ diamond fun gige sinu awọn eerun igi. Chirún alawọ buluu ti ohun elo GaN jẹ sobusitireti oniyebiye. Nitori sobusitireti oniyebiye ti ya sọtọ, ko le ṣee lo bi ọpa LED. Awọn amọna P/N gbọdọ ṣee ṣe lori aaye epitaxial nigbakanna nipasẹ ilana etching gbigbẹ ati tun nipasẹ diẹ ninu awọn ilana passivation. Nitori awọn sapphires jẹ lile pupọ, o nira lati ge awọn eerun igi pẹlu awọn abẹfẹlẹ kẹkẹ lilọ diamond. Ilana rẹ jẹ idiju ni gbogbogbo ju ti GaP ati Awọn LED GaAs.

Ohun ti o jẹ awọn be ati awọn abuda kan ti "sihin elekiturodu" ërún?

Ohun ti a npe ni elekiturodu sihin yẹ ki o ni anfani lati ṣe ina ati ina. Ohun elo yii ti lo ni lilo pupọ ni ilana iṣelọpọ gara gara. Orukọ rẹ ni Indium Tin Oxide (ITO), ṣugbọn a ko le lo bi paadi alurinmorin. Lakoko iṣelọpọ, elekiturodu ohmic yoo ṣee ṣe lori aaye chirún, lẹhinna Layer ITO yoo jẹ ti a bo lori ilẹ, ati lẹhinna ti paadi alurinmorin yoo wa ni bo lori oju ITO. Ni ọna yi, awọn ti isiyi lati asiwaju ti wa ni boṣeyẹ pin si kọọkan ohmic olubasọrọ elekiturodu nipasẹ awọn ITO Layer. Ni akoko kanna, niwọn igba ti itọka ifasilẹ ITO wa laarin afẹfẹ ati itọka itọka ti ohun elo epitaxial, igun ina le pọ si, ati ṣiṣan itanna le tun pọ si.

Kini ojulowo ti imọ-ẹrọ chirún fun ina semikondokito?

Pẹlu idagbasoke ti imọ-ẹrọ LED semikondokito, awọn ohun elo rẹ ni aaye ina jẹ diẹ sii ati siwaju sii, paapaa ifarahan ti LED funfun, eyiti o ti di idojukọ ti ina semikondokito. Bibẹẹkọ, chirún bọtini ati imọ-ẹrọ iṣakojọpọ tun nilo lati ni ilọsiwaju, ati chirún yẹ ki o ni idagbasoke si agbara giga, ṣiṣe itanna giga ati resistance igbona kekere. Alekun agbara tumo si jijẹ awọn ti isiyi lo nipa ërún. Awọn diẹ taara ona ni lati mu awọn ërún iwọn. Ni ode oni, awọn eerun agbara giga jẹ gbogbo 1mm × 1mm, ati lọwọlọwọ jẹ 350mA Nitori ilosoke ti lọwọlọwọ lilo, iṣoro ti itusilẹ ooru ti di iṣoro olokiki. Bayi isoro yi ti a ti besikale re nipa ërún isipade. Pẹlu idagbasoke ti imọ-ẹrọ LED, ohun elo rẹ ni aaye ina yoo dojuko aye ati ipenija ti a ko tii ri tẹlẹ.

Kini Flip Chip? Kini iṣeto rẹ? Kini awọn anfani rẹ?

Blue LED maa nlo Al2O3 sobusitireti. Sobusitireti Al2O3 ni líle ti o ga, iba ina gbigbona kekere ati adaṣe. Ti a ba lo ọna ti o dara, ni apa kan, yoo fa awọn iṣoro anti-aimi, ni apa keji, ifasilẹ ooru yoo tun di iṣoro nla labẹ awọn ipo giga lọwọlọwọ. Ni akoko kanna, nitori elekiturodu iwaju ti nkọju si oke, apakan ti ina yoo dina, ati ṣiṣe itanna yoo dinku. LED buluu ti o ga julọ le gba iṣelọpọ ina ti o munadoko diẹ sii ju imọ-ẹrọ iṣakojọpọ ibile nipasẹ imọ-ẹrọ isipade chirún.

Ọna ọna isipade atijo lọwọlọwọ jẹ: akọkọ, mura iwọn nla bulu LED ërún pẹlu elekiturodu alurinmorin eutectic ti o dara, ni akoko kanna, mura sobusitireti ohun alumọni diẹ ti o tobi ju chirún LED buluu, ati gbejade Layer conductive goolu ati okun waya asiwaju. Layer (ultrasonic goolu waya rogodo solder isẹpo) fun eutectic alurinmorin. Lẹhinna, chirún LED buluu buluu ti o ga ati sobusitireti ohun alumọni ti wa ni welded papọ ni lilo ohun elo alurinmorin eutectic.

Ilana yii jẹ ijuwe nipasẹ pe Layer epitaxial taara awọn olubasọrọ pẹlu sobusitireti ohun alumọni, ati pe atako igbona ti sobusitireti ohun alumọni kere pupọ ju ti sobusitireti oniyebiye, nitorinaa iṣoro ti itujade ooru ti yanju daradara. Niwọn bi sobusitireti ti oniyebiye ti nkọju si oke lẹhin iyipada, o di oju ina ti njade. Sapphire jẹ sihin, nitorinaa iṣoro ti njade ina tun yanju. Awọn loke ni awọn ti o yẹ imo ti LED ọna ẹrọ. Mo gbagbọ pe pẹlu idagbasoke ti imọ-jinlẹ ati imọ-ẹrọ, awọn atupa LED ni ọjọ iwaju yoo di imunadoko siwaju ati siwaju sii, ati pe igbesi aye iṣẹ wọn yoo ni ilọsiwaju pupọ, ti o mu irọrun nla wa.