Bawo ni a ṣe ṣelọpọ awọn eerun LED?

Kini ni ërún LED? Nitorina kini awọn abuda rẹ? Idi akọkọ ti iṣelọpọ chirún LED ni lati ṣelọpọ doko ati igbẹkẹle awọn amọna olubasọrọ ohm kekere, ati lati pade idinku kekere foliteji laarin awọn ohun elo ti o le kan ati pese awọn paadi titẹ fun awọn onirin tita, lakoko ti o pọ si iye iṣelọpọ ina. Ilana fiimu agbelebu ni gbogbo igba nlo ọna evaporation igbale. Labẹ igbale giga ti 4Pa, ohun elo naa yo nipasẹ alapapo resistance tabi ọna alapapo elekitironi tan ina bombardment, ati BZX79C18 ti yipada sinu oru irin ati gbe silẹ lori oju ohun elo semikondokito labẹ titẹ kekere.
Awọn irin olubasọrọ iru P ti o wọpọ pẹlu awọn alloy gẹgẹbi AuBe ati AuZn, lakoko ti irin olubasọrọ ti o wa ni ẹgbẹ N jẹ igbagbogbo ti AuGeNi alloy. Layer alloy ti a ṣẹda lẹhin ti a bo tun nilo lati wa ni ifihan bi o ti ṣee ṣe ni agbegbe luminescent nipasẹ ilana fọtolithography, ki iyẹfun alloy ti o ku le pade awọn ibeere ti o munadoko ati igbẹkẹle awọn amọna olubasọrọ ohm kekere ati awọn paadi titẹ okun waya solder. Lẹhin ti ilana fọtolithography ti pari, o tun nilo lati lọ nipasẹ ilana alloying, eyiti a maa n ṣe labẹ aabo ti H2 tabi N2. Akoko ati iwọn otutu ti alloying ni a maa n pinnu nipasẹ awọn ifosiwewe gẹgẹbi awọn abuda ti awọn ohun elo semikondokito ati fọọmu ti ileru alloy. Nitoribẹẹ, ti alawọ-alawọ ewe ati awọn ilana elekiturodu chirún miiran jẹ eka sii, o jẹ dandan lati ṣafikun idagbasoke fiimu passivation, awọn ilana etching pilasima, bbl
Ninu ilana iṣelọpọ ti awọn eerun LED, awọn ilana wo ni o ni ipa pataki lori iṣẹ ṣiṣe optoelectronic wọn?
Ni gbogbogbo, lẹhin ipari ti iṣelọpọ epitaxial LED, iṣẹ itanna akọkọ rẹ ti pari, ati iṣelọpọ chirún ko paarọ iseda iṣelọpọ ipilẹ rẹ. Bibẹẹkọ, awọn ipo ti ko yẹ lakoko ti a bo ati ilana alloying le fa diẹ ninu awọn aye itanna jẹ talaka. Fun apẹẹrẹ, awọn iwọn otutu alloying kekere tabi giga le fa olubasọrọ Ohmic ti ko dara, eyiti o jẹ idi akọkọ ti idinku foliteji siwaju siwaju VF ni iṣelọpọ ërún. Lẹhin gige, diẹ ninu awọn ilana ipata lori awọn egbegbe ti ërún le ṣe iranlọwọ ni imudarasi jijo yipo ti ërún. Eyi jẹ nitori lẹhin gige pẹlu abẹfẹlẹ kẹkẹ lilọ diamond, ọpọlọpọ awọn idoti ti o ku ati lulú yoo wa ni eti ërún. Ti awọn patikulu wọnyi ba duro si ipade PN ti chirún LED, wọn yoo fa jijo itanna ati paapaa didenukole. Ni afikun,, ti o ba ti photoresist lori dada ti awọn ërún ti ko ba bó pa mọ, o yoo fa isoro ni iwaju soldering ati ki o foju soldering. Ti o ba wa ni ẹhin, yoo tun fa idinku titẹ giga. Lakoko ilana iṣelọpọ ërún, roughening dada ati awọn ẹya trapezoidal le ṣee lo lati mu kikan ina pọ si.
Kini idi ti awọn eerun LED nilo lati pin si awọn titobi oriṣiriṣi? Kini ipa ti iwọn lori iṣẹ optoelectronic LED?
Awọn eerun LED le pin si awọn eerun agbara kekere, awọn eerun agbara alabọde, ati awọn eerun agbara giga ti o da lori agbara. Gẹgẹbi awọn ibeere alabara, o le pin si awọn ẹka bii ipele tube ẹyọkan, ipele oni-nọmba, ipele matrix aami, ati ina ohun ọṣọ. Bi fun iwọn pato ti ërún, o da lori ipele iṣelọpọ gangan ti awọn aṣelọpọ chirún oriṣiriṣi ati pe ko si awọn ibeere kan pato. Niwọn igba ti ilana naa ba ti kọja, chirún le ṣe alekun iṣelọpọ ẹyọkan ati dinku awọn idiyele, ati iṣẹ ṣiṣe fọtoelectric kii yoo ni awọn ayipada ipilẹ. Awọn ti isiyi lo nipa kan ni ërún ti wa ni kosi jẹmọ si awọn ti isiyi iwuwo ti nṣàn nipasẹ awọn ërún. A kekere ni ërún nlo kere lọwọlọwọ, nigba ti kan ti o tobi ërún nlo diẹ lọwọlọwọ, ati awọn won kuro lọwọlọwọ iwuwo jẹ besikale awọn kanna. Ṣiyesi pe ifasilẹ ooru jẹ iṣoro akọkọ labẹ lọwọlọwọ giga, ṣiṣe itanna rẹ jẹ kekere ju ti labẹ lọwọlọwọ kekere. Ni apa keji, bi agbegbe ti n pọ si, resistance ara ti ërún yoo dinku, ti o mu idinku ninu foliteji idari iwaju.

Kini agbegbe gbogbogbo ti awọn eerun agbara giga LED? Kí nìdí?
Awọn eerun agbara giga LED ti a lo fun ina funfun ni gbogbogbo ni a rii ni ọja ni ayika 40mil, ati pe agbara ti a lo fun awọn eerun agbara giga ni gbogbogbo tọka si agbara itanna ti o ju 1W lọ. Nitori ṣiṣe kuatomu ni gbogbogbo ti o kere ju 20%, agbara itanna pupọ julọ ti yipada si agbara igbona, nitorinaa itọ ooru jẹ pataki fun awọn eerun igi-giga, nilo wọn lati ni agbegbe nla.
Kini awọn ibeere oriṣiriṣi fun imọ-ẹrọ chirún ati ohun elo iṣelọpọ fun iṣelọpọ awọn ohun elo epitaxial GaN ni akawe si GaP, GaAs, ati InGaAlP? Kí nìdí?
Awọn sobusitireti ti pupa LED pupa ati awọn eerun ofeefee pupa ati awọn eerun pupa ti o ni imọlẹ giga mejeeji lo awọn ohun elo semikondokito bii GaP ati GaAs, ati pe o le ṣe ni gbogbogbo sinu awọn sobusitireti iru N. Lilo ilana tutu fun photolithography, ati nigbamii gige sinu awọn eerun lilo diamond lilọ kẹkẹ abe. Chirún-alawọ ewe ti a ṣe ti ohun elo GaN nlo sobusitireti sapphire kan. Nitori iseda idabobo ti sobusitireti oniyebiye, ko ṣee lo bi elekiturodu LED. Nitorina, mejeeji P / N amọna gbọdọ wa ni ṣe lori epitaxial dada nipa gbẹ etching ati diẹ ninu awọn passivation ilana gbọdọ wa ni ṣe. Nitori lile ti oniyebiye, o nira lati ge sinu awọn eerun igi pẹlu awọn abọ kẹkẹ lilọ diamond. Ilana iṣelọpọ rẹ jẹ eka pupọ ju ti GaP ati awọn ohun elo GaAs funAwọn imọlẹ ikun omi LED.

Kini ọna ati awọn abuda kan ti chirún “sihin elekiturodu”?
Ohun ti a npe ni elekiturodu sihin yẹ ki o ni anfani lati ṣe ina ati ki o ni anfani lati tan ina. Ohun elo yii ti wa ni lilo pupọ ni awọn ilana iṣelọpọ kristal olomi, ati pe orukọ rẹ jẹ indium tin oxide, abbreviated bi ITO, ṣugbọn ko ṣee lo bi paadi ti o ta. Nigbati o ba n ṣe, o jẹ dandan lati kọkọ pese elekiturodu ohmic kan lori oke ti chirún, lẹhinna bo oju pẹlu Layer ti ITO, lẹhinna fi awọn paadi solder kan si oju ITO. Ni ọna yii, lọwọlọwọ ti n sọkalẹ lati okun waya asiwaju jẹ pinpin ni deede kọja Layer ITO si elekiturodu olubasọrọ ohmic kọọkan. Ni akoko kanna, nitori itọka ifasilẹ ti ITO ti o wa laarin afẹfẹ ati itọka itọka ti ohun elo epitaxial, igun ina le pọ si, ati ṣiṣan ina le tun pọ si.

Kini idagbasoke akọkọ ti imọ-ẹrọ chirún fun ina semikondokito?
Pẹlu idagbasoke ti imọ-ẹrọ LED semikondokito, ohun elo rẹ ni aaye ina tun n pọ si, paapaa ifarahan ti LED funfun, eyiti o ti di koko-ọrọ ti o gbona ni ina semikondokito. Sibẹsibẹ, awọn eerun bọtini ati awọn imọ-ẹrọ iṣakojọpọ tun nilo lati ni ilọsiwaju, ati idagbasoke awọn eerun yẹ ki o dojukọ agbara giga, ṣiṣe ina giga, ati idinku resistance igbona. Alekun agbara tumọ si jijẹ lọwọlọwọ lilo ti ërún, ati pe ọna taara diẹ sii ni lati mu iwọn chirún pọ si. Awọn eerun agbara giga ti o wọpọ lo wa ni ayika 1mm x 1mm, pẹlu lọwọlọwọ lilo ti 350mA. Nitori ilosoke lọwọlọwọ lilo, itusilẹ ooru ti di iṣoro pataki kan. Bayi, awọn ọna ti ërún inversion ti besikale re isoro yi. Pẹlu idagbasoke ti imọ-ẹrọ LED, ohun elo rẹ ni aaye ina yoo dojuko awọn anfani ati awọn italaya ti a ko ri tẹlẹ.
Ohun ti o jẹ ẹya inverted ërún? Kini eto rẹ ati kini awọn anfani rẹ?
Awọn LED ina bulu nigbagbogbo lo awọn sobusitireti Al2O3, eyiti o ni líle giga, adaṣe igbona kekere, ati adaṣe itanna. Ti a ba lo ilana ti o niiṣe, ni apa kan, yoo mu awọn iṣoro anti-aimi, ati ni apa keji, itọpa ooru yoo tun di iṣoro nla labẹ awọn ipo giga lọwọlọwọ. Ni akoko kanna, nitori elekiturodu rere ti nkọju si oke, yoo di diẹ ninu ina naa yoo dinku ṣiṣe itanna. Awọn LED ina bulu ti o ga julọ le ṣaṣeyọri iṣelọpọ ina ti o munadoko diẹ sii nipasẹ imọ-ẹrọ isipade chirún ju awọn ilana iṣakojọpọ ibile.
Ọna ọna inverted atijo lọwọlọwọ ni lati kọkọ mura awọn eerun igi ina bulu buluu nla pẹlu awọn amọna alurinmorin eutectic ti o dara, ati ni akoko kanna, mura sobusitireti ohun alumọni diẹ ti o tobi ju chirún ina bulu buluu, ati lori oke rẹ, ṣe kan goolu conductive Layer fun eutectic alurinmorin ati ki o kan asiwaju jade Layer (ultrasonic goolu waya rogodo solder isẹpo). Lẹhinna, awọn eerun igi bulu buluu ti o ni agbara giga ti wa ni tita papọ pẹlu awọn sobusitireti ohun alumọni nipa lilo ohun elo alurinmorin eutectic.
Ẹya ara ẹrọ ti eto yii ni pe Layer epitaxial taara kan si sobusitireti ohun alumọni, ati pe atako igbona ti sobusitireti ohun alumọni kere pupọ ju ti sobusitireti oniyebiye, nitorinaa iṣoro ti itujade ooru ti yanju daradara. Nitori otitọ pe sobusitireti oniyebiye dojukọ si oke lẹhin iyipada, di oju ti njade, oniyebiye jẹ ṣiṣafihan, nitorina o yanju iṣoro ti ina didan. Awọn loke ni awọn ti o yẹ imo ti LED ọna ẹrọ. Mo gbagbọ pe pẹlu idagbasoke ti imọ-jinlẹ ati imọ-ẹrọ,Awọn imọlẹ LEDyoo di siwaju ati siwaju sii daradara ni ojo iwaju, ati pe igbesi aye iṣẹ wọn yoo ni ilọsiwaju pupọ, ti o nmu irọrun ti o pọju wa.


Akoko ifiweranṣẹ: May-06-2024